1981.9-1988.6，合肥工业大学应用物理系，本科、硕士

1995.9-1998.5，北京航空航天大学材料学院，博士

新型存储器、集成电路加工

1998-1999，中国科学院半导体所和微电子中心，博士后

2000-现在，中国科学院微电子研究所，副研究员，研究员

2012.5-2015.11，中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室（三室）主任

2015.11-至今，中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室主任

2000年，英国卢瑟辐实验室，高级访问研究员

2003年，日本东京理科大学，客座教授

2008年，国家杰出青年基金；

2010年，国家重大基础研究计划项目首席科学家；

2012年，国家自然基金委创新群体负责人；

2013年，国家百千万人才工程“有突出贡献中青年专家”；

2015年，科技北京百名领军人才；

2017年，中科院十大杰出妇女；

2018年，IEEE Fellow；

2018年，中国科学院杰出科技成就奖，新型存储器件及集成研究集体，突出贡献者；

2017年，何梁何利基金科学与技术进步奖；

2016年，国家自然科学奖，二等奖，氧化物阻变存储器机理与性能调控，排名1/5；

2013年，国家技术发明奖，二等奖，高精度微纳结构掩模制造核心技术，排名1/6；

2015年，中国电子学会科学技术奖，自然科学类一等奖，阻变存储器机理与性能调控，排名1/5；

2010年，北京市科学技术奖，一等奖，微纳结构“自上而下” 制备核心技术与集成应用，排名1/15；

2014年，北京市科学技术奖，二等奖，阻变存储器及集成的基础研究，排名1/5。

2013-2021年，新型微电子器件集成的基础研究，国家自然科学基金创新研究群体科学基金项目，项目负责人；

2009-2012年，32nm新型存储器关键工艺解决方案，国家科技重大专项课题，课题负责人。

在Nature Commun.、Adv. Mater.、IEEE EDL/TED、等国际重要学术刊物上发表SCI收录论文300多篇，在IEDM、VLSI顶级国际会议上发表论文9篇，论文被SCI他引超过3000次。研究成果被国际著名学者写入15本专著和40篇综述中，6篇论文入选Highly cited paper (top 1%)，2项工作列入国际半导体技术路线图（ITRS）。获授权发明专利213件（包括9项美国发明专利），部分专利进行了推广应用。